氣浮平臺采用氣浮導軌，無接觸，不摩擦，免維護、精度高、速度快等有優(yōu)異的特點；
此直線平臺可以按單軸使用，亦可搭配其他軸，組合成多軸平臺機構，
廣泛應用于精密加工，測試測量，掃描、半導體等行業(yè)。
ABL250-X系列氣浮平臺相較于前兩種經(jīng)濟型磁力預載氣浮臺，體積更小，精度更高；
采用氣浮導軌+直線電機+光柵尺反饋組合而成；
特點：精度高、速度快、載荷相對較大、直線度和平面度高。
只要氣源等級達到，非常適用于無塵室環(huán)境中
| 參 數(shù) | ABL250-100 | -200 | -300 | -400 | -500 | -600 |
| 有效行程 mm | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | 600 |
| 光柵分辨率 μm | 5nm（模擬量）可選配其他型號光柵分辨率 | |||||
| 重復定位精度 nm | ±50 | ±50 | ±100 | ±150 | ±200 | ±250 |
| 定位精度 | 2μm/100mm（校準后可小于0.3μm/100mm） | |||||
| 平面度 μm | ±0.4 | ±0.6 | ±1 | ±1.5 | ||
| 直線度 μm | ±0.4 | ±0.5 | ±0.6 | ±0.75 | ±1 | ±1.5 |
| 最大速度 mm/s | 2m/s | |||||
| 最大加速度（空載） | 2G | |||||
| 水平負載 kg | 35kg | |||||
| 水平負載 kg | 20kg | |||||
